LIGA

SEM picture of a polymer LIGA structure made by moulding. Smallest polymer width is 6µm; polymer height is 120µm, the aspect ratio is, therefore, 20.

SEM picture of a polymer LIGA structure made by x-ray lithography. Step length is 3µm, step height is 0.7µm. The pattern extends downwards towards the substrate for 150µm leading to an aspect ratio of the contour of 200.

LIGA is a German acronym for Lithographie, Galvanoformung, Abformung (Lithography, Electroplating, and Molding) that describes a fabrication technology used to create high-aspect-ratio microstructures.

词汇	LIGA
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释义	LIGA 英语百科 LIGA LIGA is a German acronym for Lithographie, Galvanoformung, Abformung (Lithography, Electroplating, and Molding) that describes a fabrication technology used to create high-aspect-ratio microstructures.
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